光谱仪

ICP-900全自动扫描型等离子体光谱仪的特点：

1、射频发生器的高压供电回路，采用先进的电子技术，淘汰了笨重的升压变压器和高频阻流圈，采用功率闭环反馈技术，控制精度小于0.1% 。

2、全自动点火 气路智能控制，实现软件点火，更方便。

3.安全冷却水保护、氩气保护、过压、过流、灭弧保护更安全。                        

4.输出功率自动匹配调谐，原子荧光光谱价格,原子荧光光谱仪、光度计，功率参数软件程序设定。                

5.分光器内充氩气，原子荧光光谱价格,金属元素光谱仪相关，使波长在180nm的硫和189nm的Sn得到很灵敏的测量效果。

6.优良的光学系统，先进的控制系统，保证峰位定位准确，信背比优良、极小的基体效应。  

7.测量范围宽， 超微量到常量的分析,动态线性范围5—6个数量级。

8.检出限低，大多数元素的检出限可达ppb级。

9.良好的测量精度，稳定性相对标准偏差RSD≤1.5%（5ppm），优于A级标准（JJG768-2005）。

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技术参数

射频发生器（RF）

(1) 电路类型：自激振荡电路，全自动点火，精密高压开关电源供电系统，所有功能实现电脑软件控制(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室恒温；；

(2) 工作频率：40.68MHZ±0.05%

(3) 频率稳定性：<0.1%

(4) 输出功率：700－1600w

(5) 输出功率稳定性：≤0.3%

(6) 电磁场泄漏辐射强度：距机身300mm 电场强度E:<2V/m

进样装置:

(1) 输出工作线圈内径25mm，3匝

(2) 炬管：外径20mm的石英炬管

(3) 同轴型喷雾器外径6mm

(4) 双筒形雾室外径35mm

(5) 氩气流量计规格和载气压力表规格：

 ①、 等离子体流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

 ②、 辅助气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

 ③、 载气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

 ④、 载气稳压阀（0-0.4MPa）

       仪器内设氩气二次稳压阀（0.3MPa）

   测光装置:

     (1) 光电倍增管规格： R212UH

     (2) 光电倍增管负高压：200-1000V ，稳定性<0.05%

     (3) 光电倍增管电流测量范围：10-12 -10-4A

     (4) 信号采集为V/F交换：1mV对应100Hz

分光器:

(1) 光路: Czerny-Turner

(2) 焦距: 1000mm

(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm，

    刻线面积: 80×110mm，线色散率倒数：0.26nm

(4) 波长范围：190-500nm  

(5) 分辨率: ≤0.008nm

(6) 扫描波长范围3600线/mm 扫描波长范围：190-500nm

(7) 步进电机驱动最小步距：0.0006nm

(8) 入射狭缝：20µm   出射狭缝：25µm

(9) 发射镜规格：（78 × 105 × 16）mm

(10) 透镜ф30，1：1成像

整机技术指标：测量波长范围：180-500nm    3600L/mm光栅

180-800nm    2400 L/mm光栅测量精度（重复性）：平均相对标准偏差RSD≤1%测量稳定性：平均相对标准偏差RSD≤2检出下限：亚PPb级

　　在关注低碳经济、节能减排的今天，世界各国政府通过持续不断的相关政策，对半导体照明的快速发展起到了规范和推动作用。美国国家环境保护局(EPA)在2011年2月颁布了能源之星灯具1.0规范;但在2011年5月，EPA又决定将该规范的生效日期从2011年10月1日推迟到2012年4月1日。推迟实施日期的目的主要是考虑制造商、实验室和认证机构有足够的时间来正确地应用新规范中的技术要求。多年来美国能源部(DOE)为了加快提升半导体照明技术的发展，联合工业界、大学和国家实验室开展了从政策、产品、测试及应用的多项研究计划，原子荧光光谱价格,电感耦合发射光谱仪、光度计，就高效节能、全光谱、白光的普通照明，制定了《美国固态照明研究与发展工业路线图》。通过DOEGatewayProgram，组织测试商业和居住的通用照明LED产品，收集半导体照明产品性价比的实践经验和数据。鉴于LED照明遇到的诸多问题，半导体照明在国外的研究与应用基本属于研究、研发、试点应用与总结提高的一种发展格局。 　　科研人员经过一年两个月的研究，开发出这种轻薄短小且为独立于系统设备之外的实时侦测仪器。其工作原理系运用电浆制程中各种气体均具有不同特征光谱谱线的特性，若腔体发生漏入空气的情况，济南精测电子科技有限公司,上地电子科技,腔体内气体成分将发生改变，如此即可藉由侦测氮气或氧气的特征谱线来加以确认。一旦有设定之异常现象出现，便可由控制系统发出预防性的警示信号，对减少生产成本并对产品的合格率及品质提升大有助益。这项研发创意已于联华电子公司晶圆厂的电浆制程设备线上测试，该厂工程师认为切实可行。 据了解，浙江宁波市鄞州区环境保护监测站此次采购仪 、电感耦合等离子体发射光谱仪、仪等仪器设备，耗资约245万元人民币。 具体情况如下：　　采购设备详情表子包号设备名称数量简要技术参数一电感耦合等离子体发射光谱仪1台光室：必须为精密恒温光室，驱氩气或氮气原子吸收光谱仪1台波长范围：180-900 nm，可自动选择二气相色谱仪1台流量设定范围：0－1250ml/min（以H2，He为载气时）三多路恒温智能空气/TSP采样仪6台实现空气颗粒物采样、双路24小时恒温恒流采样和双路分时大气采样。多参数水质分析仪1台可以连接超纯电极、标准电极以及野外使用的坚固型电极，测定多种参数

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