利用离子注入掺杂技术将碳原子注入单晶硅内，便可获得的立方体结构的SiC！随着掺杂浓度的差异得到的晶体结构不同，可表示为β-SiC!β表示不同形态的晶体结构。用离子注入法得到的SiC材料，自身的物理、化学及电学特性优异，表现出高强度、大刚度、内部残余应力很低、化学惰性极强、较宽的禁带宽度（近乎硅的1-2倍）及较高的压阻系数的特性；因此，SiC材料能在高温下耐腐蚀、抗辐射，并具有稳定的电学性质。贺德克HYDAC压力传感器非常适合在高温、恶劣环境下工作的微机电选择使用.

　　以便更大的工艺系统的参数检测和系统制动控制.贺德克HYDAC压力继电器给定一个压力信号，他输出一个常开触点或者一个常闭触点，当压力发生变化时候随即动作，来实现某些东西的自动化，比较简单的就是小压力罐装的自动上水，当压力低时候，常开触点自动闭合，达到设定值时候断开触点来自动控制进水.贺德克HYDAC压力继电器就是将压力信号(如:油压/水压等)转换为电信号的装置!以便更大的工艺系统的参数检测和系统制动控制！

　　贺德克HYDAC压力传感器具有较高的强度/密度比和较高的刚度/密度比.单晶硅具有很好的热导性，是不锈钢的5倍，而热膨胀系数则不到不锈钢的1/7，能很好地和低膨胀Invar合金连接，并避免热应力产生！单晶硅为立方晶体，是各向异性材料！许多机械特性和电子特性取决于晶向，如弹性模量和压阻效应等。单晶硅的电阻应变灵敏系数高!在同样的输入下，可以得到比金属应变计更高的信号输出，一般为金属的10-100倍，能在10^-6级甚至10^-8级上敏感输入信号！

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　　贺德克HYDAC压力继电器设置在夹紧液压缸的一端，液压泵启动后，首先将工件夹紧，此时夹紧液压缸的右腔压力升高，当升高到压力继电器的调定值时，压力继电器动作，发出电信号使2YA通电，于是切削液压缸进刀切削。在加工期间，压力继电器微动开关的常开触点始终闭合.若工件没有夹紧，压力继电器2断开，于是2YA断电，贺德克HYDAC压力继电器切削液压缸立即停止进刀，从而避免工件未夹紧被切削而出事故!当活塞快速下降时，两泵同时输出压力油。

　　尽管测力传感器属于装配制造产品，但为了保证具有较佳技术性能和长期稳定性，尽可能将它设计成一个整体结构.贺德克HYDAC压力传感器电阻应变计应具有较佳性能，要求灵敏系数稳定性好，热输出小，机械滞后和蠕变小，应变量为1000×10-6时疲劳寿命可达108，电阻值偏差小，批次质量均一性好等!应变粘结剂应具有粘结强度大，抗剪强度高；弹性模量较大且稳定；电绝缘性能好；具有与弹性元件相同或相近的热膨胀系数；蠕变和滞后小；固化时胶层体积收缩小等。

　　贺德克HYDAC压力传感器可调的电阻率特性、可调的温度系数、较高的应变灵敏系数及能达到准确调整阻值的特点。所以在研制微传感器和微执行器时，利用多晶硅膜这些电学特性，有时比只用单晶硅更有价值。例如，利用机械性能优异的单晶硅制作感压膜片，在其上覆盖一层介质膜SiO2，再在SiO2上淀积一层多晶硅压阻膜.这种混合结构的微型压力传感器，贺德克HYDAC压力传感器发挥了单晶硅和多晶硅材料各自的优势，其工作高温至少可达200℃，甚至300℃；低温为-60℃!