在过滤器检漏前应确认气溶胶的浓度和均匀性。检漏扫描时，若采用3cm×3cm方形探管，扫描速度不得超过5cm/s，矩形探管的大面积扫描率不得超过15C㎡/s.在扫描过程中，若显示有等于或大于限值的泄漏时，则应将探管停留在泄漏处.空气过滤器的泄漏限值是指超过上风向测试气溶胶浓度10-4的泄漏，或与业主协商确定.采用粒子计数器法进行扫描检漏时，被测试的空气过滤器穿透粒径的穿透率大于或等于0.00005%。

　　检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于0cm，以0。05m/s的速度移动!空气过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍！安装在管道或空气处理机内的空气过滤器的检漏，检测可采用光度计法或粒子计数器法！用于安装在管道或空气处理机内的易穿透粒径的穿透率大于0!005%的空气过滤器的检漏！检漏时，被检测过滤器就在设计风速的70%~130%之间运行，并确认其送风均匀性。上风向引入的大气尘或气溶胶浓度应能满足在下风向测试得到具有统计意义的读数.

　　有隔板高效过滤器（纸隔板高效过滤器）主要用于过滤0.5um以上的颗粒，广泛应用于对洁净度要求较高的过滤系统的末端。有隔板高效过滤器和无隔板高效过滤器的区别：结构有无隔板和有隔板过滤器之分!无隔板主要采用热熔胶作为滤芯的分隔物，便于机械化生产！加之具有体积小、重量轻、便于安装、效率稳定、风速均匀的优点，目前洁净厂房所需的大批量过滤器多采用无隔板结构.有隔板，多采用铝箔、纸做成折叠状作为滤芯分隔物，形成空气通道.

　　不允许采用可能沉积在过滤器或管道上的挥发性油光尘的测试用气溶胶！在进行粒子计数器检漏前，被测试过滤器应在额定风速的70%至130%之间运行，并确认其送风的均匀性.被测试过滤器的上风侧应引入浓度均匀的大气尘或添加含有其他气溶胶的空气，使之达到所需的测试气溶胶浓度!对微粒大于等于0!5μm时，测试气溶胶的浓度应大于等于5×105C/m3；对于大于等于0.1μm的微粒，其浓度应大于等于5×109PC/m3。

　　采用光度计法进行扫描检漏时，被测试的过滤器的穿透粒径的穿透率等于或大于0！005%!所采用的测试气溶胶不应对洁净室（区）内的产品或工艺设施带来影响.在进行光度计法检漏前，被测试过滤器应在额定风速的80%至120%与之间运行，并确认其送风的均匀性!被测试过滤器的上风向引入的气溶胶的浓度应为10mg/m3至100mg/m3!浓度低于20mg/m3时，将会降低检漏的灵敏度，而浓度高于80mg/m3时，若长时间测试会造成过滤器的污堵.

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