通入吹洗用气体，以将反应腔中多余的NH3等离子体以及反应副产物吹洗干净，获得氮化锰薄膜.通过以上方法制成的氮化锰薄膜具有很多优点，如制作工艺简单，无需后退火，可直接在介质上形成MnxNy阻挡层薄膜。氮化锰薄膜具有很好的均匀性和表面平整度，较低的电阻率!希望大家可以通过这些信息，进一步增加对氮化锰薄膜的了解。同时，也能间接的了解到，氮化锰的应用范围增氮有些微合金化钢中，能充分发挥微合金化元素的作用，节约微合金化元素的用量，有效降低生产成本！

　　氮化硅锰中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)!锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用!锰能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而提高钢的热加工性能；还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，同时也能提高钢的淬透性!氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性！氮化硅锰合金兼容了氮化硅和氮化锰的特殊性能，并且硅、锰与氮同时结合后，其性能也更加优越！增氮有些微合金化钢中，能充分发挥微合金化元素的作用，节约微合金化元素的用量，有效降低生产成本.

湖北氮化硅锰

　　氮化硅锰合金兼容了氮化硅和氮化锰的特殊性能，并且硅、锰与氮同时结合后，其性能也更加优越。氮化硅锰合金目前有5种制备方法：真空烧结法、二次氮化法、微波合成法、高温自蔓延合成法和常压一步合成法!现有的制备工艺都存在着能够进行优化改进的空间，今后将会在简化操作工艺，缩短反应时间和降低生产成本等方面继续探索改良。氮化硅锰是一种新型的钢添加剂，和常规氮化合金相比，具有优异的性能和应用优点。氮化硅锰具有良好的耐急热性、热传导性、化学稳定性和较小的热膨胀性，其较强的微合金化作用和增氮效果在取向硅钢、HRB400以上级螺纹钢钢筋等领域都得到了广泛的应用，具有市场需求.

湖北氮化硅锰

　　长期以来炼钢厂生产含氮钢种使用的增氮剂为钒氮合金。随着铁合金市场价格的调整需寻求一种价格低廉的合金在保证钢质量的前提下满足钢种对氮含量的要求！氮化硅锰中氮含量平均为为确定氮化硅锰能否在炼钢上用作增氮剂以及对钢质量有何影响进行了氮化硅锰在钢中应用试验研究！实验室研究为氮化硅锰的加入方法及增氮效果并初步掌握其收得率情况在感应炉上进行了实验室研究!实验过程中氮化硅锰随炉料一同加入量为22g，实验结果氮化硅锰中氮的收得率平均为22%.

　　直到后开发出了氮化硅锰（MnSiN）合金，氮化物才真正有效实现了冶炼添加剂的效果。氮化硅锰合金(MnSiN)中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)！锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用！锰能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而提高钢的热加工性能；还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，同时也能提高钢的淬透性!氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性.