洁净度级别不同其初投资和运行费也不相同。常用的非单向流洁净室的气流流型主要有顶送下回、顶送下侧回和顶送顶回.c、混合流洁净室混合流洁净室是将垂直单向流和非单向流两种型式的气流组合在一个洁净室中。混合流洁净室可大大压缩垂直单向流的面积，只将其应用在必要的关键工序和关键部位中，用大面积的非单向流来替代垂直单向流！这样不仅大大地节省建造投资而且也大大地节省了运行费用！这种混合流洁净室目前广泛地应用在微电子（超大规模集成电路）的光电子（液晶显示器LCD、等离子PDP、发光二极管LED和薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器TFT-LCD）等大面积高洁净度等级的电子工业洁净厂房中!

　　应该引起注意的是，洁净室并非越大越好，面积和空间的大小关系着送风量的多少，决定着空调能耗的大小，影响工程的投资.但洁净室的空间面积也不可太小，太小可能不便于操作、维修。所以，设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要!生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间面积，用以安置设备、物料，便于操作和维修！一般洁净室高度控制在60米，对个别较高的设备可在局部加高，而不宜提高洁净区的高度!车间内部应设有物料的中间站，其面积足以存放物料、中间产品、待验品和成品，且便于明确分区，以大限度地减少差错和交叉污染。

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　　在电子工业中微电子（集成电路）工业对洁净室的洁净度级别要求高!而且，随着微电子技术的不断发展，集成度的不断提高，光刻线宽的不断变小对洁净室洁净度等级的要求也越来越高！b、生物洁净室生物洁净室主要的控制对象是微生物、病菌等活的有生命的粒子，是不断地生长、繁殖的粒子！它所产生的污染不仅仅是微生物本身，而且，还有新陈代谢产生的二次污染.生物洁净室主要应用在医疗、制药、食品、生物工程、实验动物饲养以及生物安全等行业之中.

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　　d、矢流洁净室矢流洁净室是用圆弧形空气过滤器构成的圆弧形送风装置，经圆弧形过滤器送出的气流是放射形的洁净气流，流线不产生交叉，灰尘粒子也是被放射形气流带到回风口，回风口设在对面墙的下侧.矢流洁净室可用较少量的洁净送风来实现较高洁净度级别（5级）的洁净室!B、洁净室按用途和主要控制对象分类a、工业洁净室工业洁净室的主要控制对象是灰尘粒子！它广泛应用于电子工业、光电子工业、机械化工工业、光学工业、航天事业等!

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　　垂直单向流洁净室可创造高的洁净度（1级~5级）但是，它的初投资高、运行费高.②水平单向流洁净室是在其一面墙上满布（≥80%）空气过滤器，被其过滤的洁净空气以一定的速度用活塞型式将污染粒子挤压到对面的回风墙，由回风墙排出洁净室，这样不断循环来实现高的洁净度等级！水平单向流可创造5级的洁净度等级。其初投资与运行费用也低于垂直单向流洁净室！水平单向流洁净室与垂直单向流洁净室比较，其大的区别是垂直单向流气流是由吊顶天花流向地面，所有工作面全部被洁净的气流覆盖。