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详情介绍
Femto PCCE *触摸屏适用制程研发 清洁 活化 蚀刻外型尺寸:W 562 mm H 211 mm D 420 mm反应室尺寸:Ø 100 mm L 280 mm气体供应:流量控制型; 双气体通道射频发生器:40kHz/100 W 可调变输出功率真空泵:Leybold Type S1.5 (1.5m3/h)控制方式:电脑控制苏州和谐电子技术有限公司联系人：曹小姐联系电话：400-699-3936E-mail：sales@hexieec.com
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