性能参数2轴型 (X, Y)型号MF-UA505BMF-UA1010BMF-UA2010BMF-UA2017BMF-UA3017BMF-UA4020B　货号176-567176-568176-569176-570176-571176-5723轴型 (X, Y, Z)型号MF-UB505BMF-UB1010BMF-UB2010BMF-UB2017BMF-UB3017BMF-UB4020B　货号176-587176-588176-589176-590176-591176-592调焦方式　手动调焦（粗调焦：10mm/rev 微调焦：0.1mm/rev)测量方法　线性导轨和电子光栅尺目镜标配10X 可选配15X 20X 物镜选配1X----100X轮廓照明　带有可调整光圈的远心照明系统　　卤素灯泡(12V 50W)　　光强度可调，无级亮度调整表面照明　带有可调整光圈的科勒照明系统　　卤素灯泡(12V 50W)　　光强度可调，无级亮度调整Z轴移动范围150mm (6”)220mm (8.7”)　聚集手动调焦（粗调焦：10mm/rev 微调焦：0.1mm/rev)　示值精度(5+0.04L)um L为测量长度 （20˚C时）XY工作台测量范围50x50mm100x100mm200x100mm200x170mm300x170mm400x200mm　移动装置带有快速移动开关装置　测量精度(2.5+0.02L)um L为测量长度 JIS B7153 （20˚C时）　旋转角度---±5°±5°±3°　工件高度150mm (6”)220mm (8.7”)　工件重量10kg (22lbs)20kg (44lbs)15kg (33lbs)分辨率　0.001mm/ 0.0005mm/ 0.0001m/ .0001”/ .00005”/.00001”数据输出　 RS-232数据输出端口电源　100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz可选配件　光纤照明装置，QM-DATA数据处理器，电子聚集系统，QSPAK视像测量软件