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Ø 非接触式扩散层厚度测量Ø 非接触式硅材料中碳、氧含量测量Ø BPSG中硼、磷含量测量Ø SiN和SiON钝化层中的氢含量Ø FSG中的氟含量Ø 可做2D/3D的MappingØ 可对形状不规则的硅片进行测量
Ø 非接触式扩散层厚度测量Ø 非接触式硅材料中碳、氧含量测量Ø BPSG中硼、磷含量测量Ø SiN和SiON钝化层中的氢含量Ø FSG中的氟含量&Osla
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