多点超声波液位开关PLS960，多点超声波液位开关PLS960简介

美国sensaras晟尔斯多点超声波开关PLS960介绍

超声波侵入式多点液位系统主要用于半导体工业中PVD、
CVD、ALD等工艺所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐内高纯度化
学品液位的*和高可靠性的测量。
液位系统在化学气相沉积过程中至关重要，如ALD，CVD，
PVD等半导体晶圆制造过程。
PLS960系列多点液位系统*用于检测非常昂贵的超高纯度化
学品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、
DECT、TCA和金属化初级粒子等）的准确数量，减少化学废
物，增加产量和利润。

通过超声波回波处理技术检测液体在容器中的存在状态
不受被测物的介电常数、颜色、密度和粘度等参数影响
探头采用316L 不绣钢材质，通过½”或¾” VCR与容器连接
探头采用套筒式或叉式结构一体式设计，无可动部件
模块与探头分离，无需校准，易安装

多点液位测量
高位/溢出报警
低位/停止、再进料
半导体行业和医药制药行业

输入： 24VDC
输出: 每点1A SPDT
1A SPDT 报错点、自动进料显示
本地温度显示可选
可高达7点液位显示和报错显示
对不同液体也无需校准

重复性: +/- 0.04”(1mm)（典型）
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
电流消耗：250mA（典型）

材质： 316LS不锈钢

3/4" VCR连接结构可达到7个液位检测点

1/2" VCR连接结构可达到4个液位检测点

多于7个点的检测请与我们联系，可定制达16个点。

K-type SLE 温度传感器（可选）
低液位检测点可置于探头末端向上5毫米
两个液位检测点小距离可为2.5毫米
长度 : 600毫米，若需更长与我们联系
温度: 0° to 125°C (标准)，达 160°C的定制请与我们联系

如按安装指南正确安装不能达到我们所达成的规格，在
发货日起45自然日内，Sensaras接受免费退换货。
产品保修期：自发货之日起18个月。

资料下载

PLS960全套中文资料.pdf