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可以任意角度安装良好的线性——多段线性补偿快速的响应电磁阀使用寿命≥100万次对零点漂移有效的控制良好的选择性全球化的零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口编号项目S4832/HMT气体质量流量计，气体质量流量控制器1流量规格(10203050100200300500)mL/min(123510203050)L/min2调节阀类型电磁调节阀3调节阀静止状态常闭4安装角度任意5流量控制范围2%～6流量测量范围0～7响应时间2s（T98，设定值的±2%F.S.）8工作环境温度5℃～50℃9精度保证温度15℃～35℃10精度±1.0%F.S.11线性精度±0.5%F.S.12重复性±0.2%F.S.13工作压差～5L/min(50～300)kPa(D)5L/min～10L/min(100～300)kPa(D)30L/min～50L/min(150～300)kPa(D)14耐压3MPa15泄漏率1×10-8Pa•m3/s（He）16接触气体材料316LPTFEViton氟橡胶17管路接头Swagelok:1/4″Φ6Φ10VCR:1/4″3/8″18供电电源±15VDC(±5%)+15V＜100mA-15V＜150mA+24VDC(宽电压+11～+25V)＜250mA(+24Vdc供电时)19设定信号(0～5)VDC输入阻抗＞1MΩ4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）20流量输出信号(0～5)VDC负载能力≤3mA21电气接头D-SUB15D-SUB922重量(kg)0.9#