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产品名称Optacom VC-05Optacom VC-10Z轴测量范围100 mm175 mmX轴测量范围100 mm170 mmZ轴全量程范围分辨率0.01 μm0.01 μmX轴全量程范围分辨率0.01 μm0.01μm测量精度一级标准（ISO DIN标准）一级标准（ISO DIN标准）针尖分辨率< 30 nm< 30 nm测量力（软件可自动调节）0~150 mN0~150 mN测量速度~0.1~ 2mm/s软件动态调节测量速度0.1 ~ 2mm/s 软件动态调节测量速度截取波距0.008/025/0.08/0.25/0.8/2.5/8(mm) 或自定义0.008/025/0.08/0.25/0.8/2.5/8(mm) 或自定义测量长度1~10 倍截取长度或自定义测量长度1~ 10 倍截取长度或自定义测量长度滤波Gaussian; 2RC; λs-FilterGaussian; 2RC; λs-Filter放大倍数标尺 1:1 至 5000:1标尺 1:1 至 5000:1可选针尖半径0.002mm 至 1mm0.002mm 至 1mm爬坡能力78 incline, 87incline78 incline, 87incline测量工作台高 70mm, 行程25mm, 机械驱动3 种高度 30/50/70mm, 行程 25/50/75mm, 机械/电动/ CNC控工作台可选基座460 x 220 x 42 mm835 x 380 x 100 mm 校准器标准配置并带有校准证书标准配置并带有校准证书重量23 kg140 kg产品名称Optacom VC-10LOptacom VC-15Z轴测量范围275 mm400 mmX轴测量范围270 mm200 mmZ轴全量程范围分辨率0.01μm0.01 μmX轴全量程范围分辨率0.01 μm0.01 μm测量精度一级标准（ISO DIN标准）一级标准（ISO DIN标准）针尖分辨率< 30 nm< 57 nm测量力（软件可自动调节）0~ 150 mN0~ 150 mN测量速度0.1~ 2mm/s软件动态调节测量速度0.1~ 2mm/s 软件动态调节测量速度截取波距0.008/025/0.08/0.25/0.8/2.5/8(mm) 或自定义0.008/025/0.08/0.25/0.8/2.5/8(mm) 或自定义测量长度1~10 倍截取长度或自定义测量长度1~ 10 倍截取长度或自定义测量长度滤波Gaussian; 2RC; λs-FilterGaussian; 2RC; λs-Filter放大倍数标尺 1:1 to 5000:1标尺 1:1 to 5000:1可选针尖半径0.002mm 至 1mm0.002mm 至 1mm爬坡能力78 incline, 87incline78 incline, 87incline测量工作台3 种高度 30/50/70mm, 3 种行程 25/50/75mm, 机械/电动/ CNC控工作台3 种高度 30/50/70mm, 3 种行程 25/50/75mm, 机械/电动/ CNC控工作台基座835 x 380 x 100 mm 800 x 500 x 75 mm校准器标准配置并带有校准证书标准配置并带有校准证书重量150 kg120 kg