电子测量仪器的发展可以溯到20世纪20年代，科学技术的发展推进了电子技术的进步，同时促使了电子管的出现。电子技术测量速度快，频谱范围宽，容易进行遥控等众多的特点，使得电子技术很快的应用到测量技术中，引领测量仪器进入了一个新的历史时期。进入20世纪50年代，半导体技术开始迅速发展，晶体管比电子管功耗更低、体积更小、频谱范围更宽、稳定性更高，使得电子管很快被晶体管所代替，出现了性能更为优良的频谱测量仪、示波器等。20世纪60年代，中小规模集成电路的出现再次将电子测量仪器的发展推向更高的阶段，集成电路将电阻、电容、二极管、三极管等大量的元器件集成到同一块很小的硅片上，从而实现元件、材料、电路的三位一体。这样的集成电路的在电子测量中的应用，使得电子测量仪器的体积更小，而且同时又拓展了测量范围，提高了测量精度。现在的很多测量仪器基本都是有集成电路组成，而且具备一些智能化和网络的特点。

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