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PDC200/210/510等离子清洗机
高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）适用于研究开发的小型等离子清洗机。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式*型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
用途
●CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
●去除有机膜和金属氧化膜
●印刷电路基板的干式清洗
●界面活性处理
●LED封装
特征
●DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
●RIE模式
●均匀性高的电极构造
●操作简单的触摸屏控制器
规格
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型号 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
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等离子模式 |
RIE（DP模式选配） |
RIE/DP |
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电极构造 |
平行平板（固定） |
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高频输出 |
Max300W |
Max500W |
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频率 |
13.56MHz |
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控制·显示 |
液晶触摸屏 |
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反应室尺寸 |
W400×D250×H150mm |
W500×D300×H200mm |
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电极尺寸 |
W250×D170mm |
W400×D200mm |
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反应室材质 |
铝 |
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反应气体 |
2系统（Ar、O2） |
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填充气体 |
N2或干燥空气 |
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反应气体流量控制 |
流量计 |
聚合控制器 |
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真空泵 |
另行选配 |
油泵（约345L/分）标配 |
油泵（约500L/分）标配 |
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气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个 |
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外形尺寸 |
W540×D600×H600mm |
W540×D600×H600mm |
W700×D700×H1285mm |
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重量 |
约100kg |
约105kg |
约180kg |
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电源 |
单相AC100V10A |
三相AC200V6A |
三相AC200V8A |