工作台
MPT-1D系列(一维直驱式工作台)
2018-11-19 17:36  浏览:316
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主要参数(nm)
MPT-1DN/RL010 MPT-1DN/RL025 MPT-1DN/RL050
运动自由度 X X X
行程范围
(μm±10%)
10 25 50
位移分辨率
(nm)
1 2.5 5
重复定位精度
(nm)
-/10 -/25 -/50
运动方向推力
(N)
1000 1000 1000
运动方向拉力
(N)
30 70 100
负载
(Kg)
2.5 2.5 1.5
固有频率
(Hz)
1450 900 400
重量
(g±5%)
200 280 700
工作电压
(V)
0~
工作温度范围
(℃)
-20~80 -20~80 -20~80
外型尺寸 A×C
(mm)
60×50 80×70 100×90
外型尺寸 K×J
(mm)
22×24.5 22×24.5 23×26.5
运动部分 B×D
(mm)
30×30 45×45 70×70
运动部分 E×F
(mm)
22×22 38×38 60×60
运动部分 G
(mm)
27.5 40 48
安装尺寸 M×L
(mm)
4.5×8 4.5×8 4.5×10
安装尺寸 I
M4 M4 M4
开环工作台推荐匹配电源型号:HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号:PPC-1CR0150

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