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日本ULVAC爱发科真空泵VD401株式会社ULVAC作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum)的真空技术先驱，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供先 进的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的先 进设备。