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具体型号 |
VMC250 |
VMC300 |
VMC400 |
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(X/Y/Z轴)量测行程(mm) |
250*150*200 |
300*200*200 |
400*300*200 |
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全机尺寸(mm) |
800*500*1650 |
800*500*1650 |
1060*800*1650 |
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机台底座和立柱材料 |
*花岗石 |
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CCD |
43万像素日本*CCD |
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X,Y轴量测精度 |
（3+L/200）um |
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放大倍率 |
Step Zoom光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X |
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光学尺解析度 |
1 um |
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重复性 |
2 um |
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操作方式 |
自动 |
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电源供给 |
110/220V |
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合适温度，湿度 |
温度：19°--24°，湿度：45%--75% |
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保修期 |
1年 |
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