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产品介绍 海德汉的敞开式光栅尺与扫描头和光栅尺或钢带尺间没有机械接触。这些光栅尺的典型应用包括测量机、比较仪和其它长度计量精密设备以及生产和测量设备，例如用在半导体工业中。产品特点 * 精度可达±0.5um或更高* 测量步距可达0.001um(1nm)* 测量长度可达30m* 扫描头和光栅尺间无磨擦* 尺寸紧凑、重量轻* 移动速度高