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特点：
1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力
2. 电动Z轴分辨力0.1μm
3. 具有高度自动测量
4. 内建偏光测量光学模块
5. 高速/无接触测量
6. 同轴光/底光测量
7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
技术规格参数：| 型号 | MTM-3020MA | ||||
| 工作台 | 金属台尺寸(mm) | 500 x 330 | |||
| 玻璃台尺寸(mm) | 350 x 250 | ||||
| X、Y轴运动行程(mm) | 300 x 200 | ||||
| 手动Z轴行程(mm) | 120 | ||||
| 自动Z轴行程(mm) | 2 | ||||
| 外形尺寸(mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
| 仪器重量(kg) | 130 | ||||
| X、Y、Z轴分辨力(μm) | 0.5 | ||||
| 自动Z轴分辨力(μm) | 0.1 | ||||
| 示值误差(μm) |
E1XY=(2.5+L/100)μm(L为测量长度，单位mm) |
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| 物镜放大倍数误差 | 包括畸变在内的放大率误差≦0.08% | ||||
| 落射照明光源 | 可调高亮度卤素灯 | ||||
| 底光照明光源 | 可调高亮度LED灯源 | ||||
| 目视系统 | 影像系统 | ||||
| 物镜放大倍数 | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜 | |||
| 目镜放大倍数 | 10X双镜筒 | 1/2”CCD摄像机 | |||
| 视频总倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900) | |||
| 单层透明膜厚度测量模组 | |||||
| *测量模式 | 快速测量模式 | ||||
| 厚度测量范围 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
| 分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm | |