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主要特征:*的全铝技术，横梁与Z轴采用表面硬质阳极化航空铝合金，温度一致性；并降低了运动部件的质量和测量机在高速运行时的惯性，保证高速*三轴导轨均采用*自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨*受磨损u三轴均采用*欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩uX向采用精密60°三角梁技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比，运动更加可靠uY轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性uZ向采取获得的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性u各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位u采用海克斯康为Croma*打造的IDC-Ⅰ控制系统，21项误差空间修正技术和自动调偕功能，保证了机器的动态性能和测量精度u软件为业界*的PC-DMISuBASIC (/PC-DMIS PREMIUM)，功能强大，易学*规格型号与技术指标: