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高真空隔膜阀主要零件材料阀体、阀板、阀杆：不锈钢
隔膜：硅橡胶、氟橡胶。
高真空隔膜阀主要技术性能
阀门漏率：≤1.3×10-4 Pa.L/S
适用温度：-25~+80℃(丁腈橡胶)、-30~+150℃(氟橡胶)
使用压力范围(Pa)
活套法兰：(GB6070、JB919)：0.6×106 ~1.3×10-4
焊接法兰(GB6070、JB919)：1.6×106 ~1.3×10-4
快卸法兰(GB4982)：0.1×106 ~1.3×10-4
螺纹连接：1.6×106 ~1.3×10-4
也可按用户要求的连接标准加工